製品紹介
ＰＲＯＤＵＣＴ
高周波電源
ＲＦ－５００
本品はプラズマ発生などのエネルギー源として設計した、高周波電源です。
水晶発振器と出力安定化機能により13.56MHz500Wのエネルギーを安定に取り出せます。
空冷・小型化により、取り扱いやすくしました。
ＲＦ－３０１ / ＲＦ－１５１
本機はプラズマ発生のほか工業用途に設計した高周波電源です。
13.56MHz 300Wを定格出力とし、定電力フィードバックで出力制御します。
研究・実験用途に便利です。
ＲＦ１K－１３－ＣＰＦ
本機は半導体プラズマや、スパッタリング用途に開発された13.56MHz/1kwの高周波電源です。
パルス変調機能や位相シフタも内蔵されており、複数の電極をもった真空チャンバに適しています。
27MHz、40MHz版もあります。
ＲＦ－ＭＢ２００
本機は200wの高周波電源と自動調整器を一体化したモデルです。
目的・用途に応じてカスタマイズ致します。
整合器
ＭＢＰＲ－３０２
装置組み込みを前提とした、小電力用自動整合ユニットです。操作機能は本体に
組み込まれているので、DC12Vを加えるだけで動作します。
ＭＢ－４５０
ＭＢ－５５０
